美国艾里卡特质量流量控制器原理

美国艾里卡特质量流量控制器原理

快速泄漏测试

对阀门或传感器等体积较小的元件进行泄漏测试时，将一台MCW系列低压损气体质量流量控制器设置在压力控制模式，使其在实时提供准确的质量流量和体积流量读数的同时，还能确保被测试装置保持恒定压力。按照此种配置方法，仅一台MCW系列低压损气体质量流量控制器便能执行压力控制器和质量流量计的功能。

更多产品信息请查看质量流量计、质量流量控制器、压力控制器、压力传感器。

性能

可用量程：大0-1000 slpm；小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常备量程，请参见零件编号标签）

可调比：200:1（MC系列）

标准精度（NIST可溯源）：±（0.8%读数 0.2%满量程）

高精度（选配，NIST可溯源）：±（0.4%读数 0.2%满量程）

可重复性：0.2%满量程

标准控制器响应时间常数：50-100ms（若有PID调节功能，可缩短至25ms）

无需预热时间

质量流量控制器原理

http://www.alicatchina.net/SonList-682265.html

http://www.ybzhan.cn/st115778/product_12279732.html